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椭球形谐振腔相关论文
椭球形微波等离子体金刚石膜沉积装置与金刚石膜的制备
对椭球形谐振腔式微波等离子体(MPCVD)金刚石膜沉积装置的谐振腔进行了模拟,获得了谐振腔中的电场和等离子体分布。运用自行设计和......
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