微型电液动力泵相关论文
介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使......
随着电子元器件微型化和高性能比的进一步发展，下一代电子元器件的散热将超过1000W/cm，现有的气体冷却技术已无法满足如此之高的热流......
本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵-电液动力微泵，微泵由一组平面电极组成，施加直流来驱动流体。相关实验研究......
本文介绍了一种新型电子冷却技术微型电液动力泵的工作原理，并且运用了MEMS技术，在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵。采用......
