平行马赫探针相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

平行马赫探针相关论文

金刚石镀膜装置上的等离子体漂移速度的测量

主要叙述了在金刚石镀膜装置中，利用平行马赫探针测量了沉积室中的等离子体漂移速度，采用了Ｈｕｔｃｈｉｎｓｏｎ的流体力学模型分析了数据。测得马赫数Ｍ为......

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等离子体漂移金刚石镀膜电子温度平行马赫探针金刚石膜流体力学模型饱和电流玻尔兹曼关系磁场线单位长度

金刚石镀膜装置中的等离子体参数测量

利用平行马赫探针和单探针对金刚石镀膜装置中的等离子体漂移速度、离子密度及电子温度进行了测量 ,采用 Chung Kyu- Sun理论对平......

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单探针平行马赫探针马赫数等离子体漂移速度电子温度离子密度

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