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电子束光刻亚微米矩阵列的坡莫合金薄膜铁磁共振谱的研究
报告了对电子束刻蚀的亚微米矩形阵列坡莫合金NiFe薄膜系统的铁磁共振(FMR)研究及对矩形阵列不均匀退磁场和铁磁共振谱进行的理论拟......
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电子束光刻
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