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三氯氢硅氢还原反应相关论文

西门子法钟罩炉内三氯氢硅氢还原CVD宏观动力学模型

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西门子法三氯氢硅氢还原Si-CVD本征动力学模型

联系生产实际对西门子法三氯氢硅氢还原反应体系的反应做了归类分析,选用可靠适用的热力学基础数据,设计合理计算方案,计算分析16......

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