氢氧合成相关论文
本文分别介绍了东京电子扩散炉与TMX-9000扩散炉氢氧点火系统的组成及工作原理,并为故障的排查提供了分析方法.......
氢氧直接合成过氧化氢以其反应的原子经济性、工艺的简单性和产品的清洁性成为催化领域的研究热点。本文研究了氢氧直接合成过氧化......
从流体力学和传热学的角度,分析了在口径氧化炉中,采用内燃结构进行了氢氧合成氧化,造成硅片氧化层厚度不均匀的原因。并根据流体力学......
介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性......