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[期刊论文] 作者:郭秦敏,秦志辉, 来源:物理学报 年份:2021
随着未来信息器件朝着更小尺寸、更低功耗和更高性能方向的发展,构建器件的材料尺寸将进一步缩小.传统的"自上而下"技术在信息器件发展到纳米量级时遇到瓶颈,而气相沉积技术...
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