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[学位论文] 作者：曹楷,
来源：中国科学院上海光学精密机械研究所 年份：2005
随着半导体工业的蓬勃发展，大规模集成电路的集成度越来越高，最小线宽也迅速缩小，缺陷密度对成品率的影响也显得越来越突出，因此，在半导体行业中，检测并控制缺陷是一项非常重要的工......
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