搜索筛选:
搜索耗时1.8786秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：郑衍畅,胡华奎,邱克强,王海,徐向东,付绍军,
来源：光学精密工程 年份：2019
全息光刻-单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作大高宽比硅光栅的一种重要方法 ,而如何增大光刻胶光栅的占宽比,以提高制作工艺宽容度和光栅质量是急需解决的问题。本文提出了一种热...
相关搜索：
