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[期刊论文] 作者:陆振刚,谭久彬,刘永猛,刘俭,张慧,, 来源:光学精密工程 年份:2006
提出了双层膜系分析方法,该方法采用独立网栅等效薄膜模型,将网栅对衬底干涉的影响引入分析,克服了Kohin方法仅考虑衬底干涉的不精确性,并避免了其分析独立网栅的透波率公式...
[期刊论文] 作者:赵勃,史维佳,王丙泉,亓雪,谭久彬, 来源:光学精密工程 年份:2020
为了解决尺蠖电机难以兼顾高速和高精度的问题,提出一种基于导通角调节的驱动方法,对V形双足式尺蠖电机的机电耦合模型、驱动方法和运动机理等进行了研究。根据设计的V形双足...
[期刊论文] 作者:王维雅,丁雪梅,黄向东,谭久彬,李海英,, 来源:光电子.激光 年份:2007
提出了一种基于多帧相关技术与波门选通技术相结合的快速目标识别与跟踪方法。利用多级滤波抑制噪声的方法对单帧采集图像进行处理,得到潜在的目标信息,然后利用多帧相关性和目标的运动连续性确定目标;对于后续图像引入波门选通技术,在波门内进行预处理、分割与......
[期刊论文] 作者:邹丽敏,杨文国,金国良,尹静,谭久彬, 来源:光电子·激光 年份:2003
系统采用位置敏感器(PSD)作为光电探测器来测量器件的振动信号,计算机依据PSD测得的挠性器件的振荡信号,对其进行谐波分析及频谱分析,从频谱图上获得该器件的摆动频率.该方法...
[期刊论文] 作者:金占雷,谭久彬,张山,王雷,吕云飞, 来源:光学精密工程 年份:2008
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光......
[期刊论文] 作者:金占雷,谭久彬,刘玉涛,王雷,张山,, 来源:光电工程 年份:2008
为了进一步提高光学元件的线条制作精度,建立了极坐标激光直写时线条中心径向漂移的补偿模型。首先推导了极坐标激光直写的曝光量分布模型,分析了径向漂移产生的原因,然后针对数......
[期刊论文] 作者:金占雷,谭久彬,张山,王雷,吕云飞,, 来源:光学精密工程 年份:2008
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出...
[期刊论文] 作者:吴剑威,袁勇,崔继文,刘永猛,谭久彬,, 来源:光学精密工程 年份:2015
为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统。基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并...
[期刊论文] 作者:曾涛,王大伟,谭久彬,张钟华,曹观标,, 来源:仪器仪表学报 年份:2020
"能量天平法"是一种基于机械电磁能量平衡的普朗克常数测量方法,该方法因存在一项由线圈特征矢量的非对准状态引起的"特征矢量对准能量误差",其普朗克常数测量不确定度难以降低至1×10~(-8)。为实现对准能量误差的精确补偿,针对能量天平线圈垂向运动过程中的残......
[期刊论文] 作者:禹国栋,徐永向,邹继斌,肖利军,谭久彬, 来源:中国电机工程学报 年份:2021
恒转矩区间是有限转角力矩电机的重要设计参数,目前对于等极槽永磁式有限转角力矩电机而言,在设计之初难以确定.该文提出一种基于磁场解析模型的有限转角力矩电机恒转矩区间...
[期刊论文] 作者:邹丽敏,庞明姝,周梦姣,王宝凯,谭久彬,, 来源:光电子·激光 年份:2014
针对传统的机械式共焦扫描方法由于受机械特性或驱动技术的限制难以满足材料内部物理过程检测、缓慢化学反应可视化和活体细胞成像等应用领域的需求,深入研究了基于纯相位液...
[期刊论文] 作者:王越,胡鹏程,付海金,杨宏兴,杨睿韬,谭久彬, 来源:哈尔滨工业大学学报 年份:2020
针对纳米级周期非线性误差制约外差激光干涉仪使其不能适应下一代超精密装备制造与重大科学工程提出的亚纳米乃至皮米测量精度需求的问题,分析了外差激光干涉仪中两类周期非...
[期刊论文] 作者:刘俭,谷康,李梦周,由小玉,刘辰光,王宇航,谭久彬, 来源:计量学报 年份:2019
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测...
[期刊论文] 作者:温众普,吴剑威,邢坤鹏,张银,李结安,谭久彬, 来源:工程(英文) 年份:2021
在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构.研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能.然而,...
[会议论文] 作者:刘永猛,李正坤,鲁云峰,曾涛,白洋,王大伟,谭久彬, 来源:2016第十二届全国精密工程学术研讨会 年份:2016
  普朗克常数精密测量及用普朗克常数重新定义质量单位千克已成为目前国际计量学界亟待解决的科研难题和各个国家级计量机构研究的国际热点课题。...
[期刊论文] 作者:陈洪芳,丁雪梅,钟心,谭久彬,王维雅,谢站磊,李海英, 来源:光电工程 年份:2007
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型.通过分析测量棱镜三维运动对多普...
[期刊论文] 作者:陈洪芳,丁雪梅,钟志,谭久彬,王维雅,谢站磊,李海英,, 来源:光电工程 年份:2007
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型。通过分析测量棱镜三维运动对多...
[期刊论文] 作者:杨宏兴,付海金,胡鹏程,杨睿韬,邢旭,于亮,常笛,谭久彬, 来源:激光与光电子学进展 年份:2022
针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取......
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