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[学位论文] 作者:许钦印,, 来源:南京大学 年份:2013
自从上个世纪八十年代以来,太赫兹科学与技术逐渐突破了源和检测器的瓶颈得以迅速发展,世界各地的科学家都争先在此领域开发这一新的电磁资源。几乎在同一时期,超导隧道结平...
[期刊论文] 作者:许钦印,日比康词,陈健,康琳,吴培亨,, 来源:中国科技论文 年份:2013
在制作基于二维超导检测阵列的太赫兹成像系统时,为了降低系统噪声,提高灵敏度、运行速度和工作稳定性,设计了一种集成低噪声低温半导体读出电路的高灵敏度超导太赫兹检测系统。......
[期刊论文] 作者:肖伟,曹春海,李梦月,许钦印,卢亚鹏,康琳,许伟伟,陈健,吴, 来源:低温与超导 年份:2012
通过改进RIE的刻蚀工艺和绝缘层的生长工艺,在SiO2/Si衬底上制备出了性能良好的超导Nb/A1-AlOX/Nb隧道结。采用CF4作为刻蚀气体,降低了RIE对结势垒层和衬底SiO2层的刻蚀。使...
[期刊论文] 作者:卢亚鹏,曹春海,李梦月,许钦印,肖伟,房玉荣,许伟伟,康琳,, 来源:低温与超导 年份:2012
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用......
[期刊论文] 作者:肖伟,曹春海,李梦月,许钦印,卢亚鹏,康琳,许伟伟,陈健,吴, 来源:低温与超导 年份:2004
通过改进RIE的刻蚀工艺和绝缘层的生长工艺,在SiO2/Si衬底上制备出了性能良好的超导Nb/A1 AlOx/Nb隧道结.采用CF4作为刻蚀气体,降低了RIE对结势垒层和衬底SiO2层的刻蚀.使用P...
[期刊论文] 作者:查士同,曹春海,许钦印,李梦月,康琳,许伟伟,陈健,吴培亨, 来源:低温与超导 年份:2010
采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化...
[会议论文] 作者:许钦印,曹春海,查士同,李梦月,康琳,许伟伟,陈健,吴培亨, 来源:第十一届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 年份:2010
[会议论文] 作者:卢亚鹏,李梦月,许钦印,肖伟,房玉荣,许伟伟,曹春海,吴培亨, 来源:第十一届全国超导学术研讨会暨超导发现100周年纪念大会 年份:2011
[期刊论文] 作者:房玉荣,曹春海,许钦印,王林,张广涵,姚晓栋,许伟伟,孙国柱, 来源:低温与超导 年份:2013
研究了在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/AlOx/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结,RIE刻蚀上......
[期刊论文] 作者:房玉荣,曹春海,许钦印,王林,张广涵,姚晓栋,许伟伟,孙国柱, 来源:低温与超导 年份:2004
研究了在高阻硅衬底上Al/ AlO/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/ AlOx/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结...
[会议论文] 作者:房玉荣,曹春海,许钦印,张广涵,姚晓栋,孙国柱,许伟伟,吴培亨, 来源:第十二届全国超导学术研讨会 年份:2013
由于全铝结两字比特电路具有较长的消相干时间,用它来构建超导量子计算电路成为研究热点.我们研究了在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al隧道结的制备技术.采用电子束蒸发技术原位制备Al/Al-AlOx/Al三层材料;采用光刻技术和不同的湿法刻蚀条件刻蚀出电路轮廓、隧道结结区;......
[会议论文] 作者:曹春海,查士同,许钦印,孙国柱,康琳,许伟伟,金飚兵,陈健,吴培亨, 来源:第十一届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 年份:2010
[期刊论文] 作者:卢亚鹏,曹春海,李梦月,许钦印,肖伟,房玉荣,许伟伟,康琳,陈健,吴培亨,, 来源:低温与超导 年份:2012
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;...
[期刊论文] 作者:房玉荣,曹春海,许钦印,王林,张广涵,姚晓栋,许伟伟,孙国柱,吴培亨,, 来源:低温与超导 年份:2013
研究了在高阻硅衬底上Al/AlO x/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/AlO x/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道...
[会议论文] 作者:金飚兵,康琳,吴培亨,张彩虹,Sebastian Engelbrecht,Andrei Pimenov,吴敬波,许钦印,曹春海,陈健,许伟伟, 来源:第十一届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 年份:2010
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