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为了满足高带宽、高密度的数据互联需求,本文基于IMEC的硅光子SOI工艺提出了一种紧凑型行波驱动电极的马赫-曾德(MZ)调制器结构.本文详细分析了设计高速行波电极需解决的问题,包括考虑阻抗匹配、微波损耗以及电光信号的速度匹配问题.设计实现了单通道MZ调制器电光调制3dB带宽17GHz,可支持25Gbps的传输速率.同时为了应用于多通道高密度的电光集成互联中,优化了电极结构,使得MZ调制器面积节省25%.