水溶性干膜显影液化学组份的补充及过程控制

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1996年8月份的《CircuiTree》上,我就显影液的控制谈过自己的看法,我的同事Dave McGregor有一些补充看法,在这里我们一起来探讨。显影液控制的重要方面就是显影点(BREAK POINT),如果板过显影点后在显影液中时间过长,将导致过显影,显影点的时间和板过显影点后的额外显影时间虽然没有明确的界定,但却十分重要,通过计算可以看出两者之间的关系,过显影点后的时间(Post Break point Residence Time,PBRT)随显影点的变化而变化。可以通过下列公式计算:
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