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应用４１９２Ａ低频阻抗分析仪测量了不同温度下的ＹＳＺ薄膜的阻抗谱，利用Ｂａｕｅｒｌｅ等效电路模型研究了ＹＳＺ薄膜的电导率随温度的变化规律，探讨了掺杂氧化物（Ｙ２Ｏ３）对ＹＳＺ薄膜电导率的影响，其结果表明：ＹＳＺ薄膜的阻抗谱是一个完整的半圆，圆心稍低于实轴，在５００℃时，ＹＳＺ薄膜的电导率为０．０１４Ω＾－１ｃｍ＾－１，且随着测试温度的升高，ＹＳＺ薄膜的电导率增大，稳定剂浓度对ＹＳＺ薄膜的电导率有显