振动式微机械陀螺仪的研究现状与展望

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bostangul
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在多种类型的陀螺仪中,以振动式微机械陀螺仪最具代表性,且具有丰富的研究基础和很高的市场占有率。首先介绍了各种检测方式的振动式微机械陀螺仪的国内外研究现状,对各种类型陀螺仪的结构、加工工艺、工作方式、性能指标等进行了详细的阐述,并对振动式微机械陀螺仪的发展趋势进行了展望。振动式微机械陀螺仪不仅要向高精度、高稳定性的导航等领域继续发展,同时也需要兼容低性能要求的民用领域。随着加工技术的不断进步和应用领域的扩展,小型化、三轴一体化、新材料将成为振动式微机械陀螺仪的研究热点。
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