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针对24对棒的多晶硅还原炉底盘的温度场均匀化问题，结合大型多晶硅还原炉的研制要求，应用Ansys13．0中的Fluent对多晶硅还原炉底盘的辐射、导热和对流的传热过程进行了模拟分析，对不同进口流量（225t／h、170t／h和125t／h）的还原炉底盘进行了流场模拟，得到不同流量情况下的还原炉底盘内部流场的速度场、温度场和压力场。结果表明：进口流量越大，底盘内部流场总温度越低，流体能量越低；进口流量越大，阻力降越大。综合考虑温度场和阻力降，进口流量取170t／h是最优值。