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介绍用测量得到的椭偏参数ψ和Δ求解透明薄膜折射率和厚度的方法。该方法引入一个新的目标求解函数,减少了搜索参量的空间的维数,改善了函数的性态和收敛速度,缩短了计算时间。最后给出应用实例。更多还原
一种求解透明薄膜椭偏方程的新方法
【摘 要】
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介绍用测量得到的椭偏参数ψ和Δ求解透明薄膜折射率和厚度的方法。该方法引入一个新的目标求解函数,减少了搜索参量的空间的维数,改善了函数的性态和收敛速度,缩短了计算时
【机 构】
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西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系710049,710049
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1993年4期
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