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期刊论文
Cu—TiN复合薄膜的微结构与电性能
Cu—TiN复合薄膜的微结构与电性能
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:summerweixi
【摘 要】
:
本文采用SEM,EDAX和TEM等手段研究了多靶磁控溅射制备的Cu-TiN复合薄膜,并测定了薄膜的电阻率。研究表明,复全薄膜的微结构随TiN含量及其片高温发生明显变化,其电阻率在基片温度约为200℃时取得极不值,约
【作 者】
:
李戈扬
吴亮
【机 构】
:
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
磁控溅射
复合薄膜
微结构
电性能
magnetron sputtering
Cu-TiN composite film
microstructure
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本文采用SEM,EDAX和TEM等手段研究了多靶磁控溅射制备的Cu-TiN复合薄膜,并测定了薄膜的电阻率。研究表明,复全薄膜的微结构随TiN含量及其片高温发生明显变化,其电阻率在基片温度约为200℃时取得极不值,约为室温沉积薄膜电位率的1/4。
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