【摘 要】
：
为揭示VO2薄膜场致相变规律,指导氧化钒工业化规模制造与应用,使用磁控溅射直流溅射工艺在蓝宝石衬底上制备了VO2薄膜。对薄膜进行了XRD及SEM测试,分析了溅射氧分压、溅射温
【机 构】
：
陆军工程大学强电磁场环境模拟与防护技术国防科技重点实验室
【基金项目】
：
XXXX智能电磁防护材料研究项目(713XXXXX)
论文部分内容阅读
为揭示VO2薄膜场致相变规律,指导氧化钒工业化规模制造与应用,使用磁控溅射直流溅射工艺在蓝宝石衬底上制备了VO2薄膜。对薄膜进行了XRD及SEM测试,分析了溅射氧分压、溅射温度及溅射压强对晶体组份、晶粒的生长趋势及晶体表面结构的影响规律。对VOx薄膜的场致相变特性进行了测试研究,分析了VOx薄膜的导电开关特性,总结了溅射氧氩比对其临界相变电场区间及电导率变化倍数的影响规律。得出结论,基片温度对成膜速度和晶粒大小及晶粒间隙有很大影响,溅射气压对薄膜表面晶体生长的均匀性影响显著,氧分压是影响薄膜组份的重要因素,氧氩比会影响薄膜的场致相变电导率变化倍数和临界相变电压区间。
其他文献
<正>美国微软公司总裁、世界首富比尔·盖茨,他的辉煌业绩早已誉满全球,有口皆碑;他的言谈也别具一格,平实无华,简练深刻。我们采撷几则他对职场新人的劝勉之语,略加点评,奉
目的了解内蒙古自治区<15岁儿童格林巴利综合征(Guillian-BarréSyndrome,GBS)的流行病学特征,为GBS防控提供科学依据。方法对内蒙古自治区2005-2014年报告的214例<15岁儿童G
债转股是我国金融体制改革和现代企业制度建设过程中出现的特殊政策,在化解银行不良贷款风险,提高银行资产质量,改善国有企业负债结构等方面起到了积极的作用。以我公司成立
通过对具体算例的分析,指出在配管中引入波纹补偿器时值得重视的问题:内压盲板力的影响和管架热失载与一次应力再处理。同时,还必须判断它的使用合理性。
目的：探讨内镜下探条扩张治疗食管癌术后吻合口狭窄的临床疗效。方法：对68例食管癌术后吻合口狭窄致吞咽困难的患者内镜下行沙氏探条扩张术。结果：68例治疗后吞咽困难症状较治疗
目的 为了探讨彩色多普勒超声对于蔓状血管瘤诊断的应用价值。方法 特选取20例患有蔓状血管瘤患者,并对其二维及彩色多普勒超声进行检查,同时,对于部分肿物展开三维重建和拓
在环境治理中,选择合适的政策工具非常重要,它是实现环境政策目标和结果的桥梁,是政府有效治理环境的途径和手段,更是环境政策成败的关键。我国现有的多种可供选择的政策工具
目的:观察骛马四磨汤口服液治疗便秘型肠易激综合征的疗效。方法:对104例便秘型肠易激综合征病人进行回顾性分析,随机分为两组:四磨汤组(治疗组)52例,服用西沙比利组(对照组)
随着经济全球化的深入发展,中外企业的国际商务往来也越来越频繁,而商务合同的签订是国际商务活动中至关重要的一部分,因此人们也更加重视商务合同的翻译。然而,商务合同的翻