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目的：研究过氧化氢低温等离子体灭菌失败的原因，探讨相应的改进措施，提高灭菌成功率保证无菌物品的质量。方法统计医院2011年10月－2013年12月使用低温等离子体灭菌的情况，对灭菌失败的可控因素及不可控原因进行综合分析。结果共灭菌2930舱，灭菌成功2815舱次，灭菌失败115舱次，灭菌失败率为3．9％；其中化学监测指示物变色不合格100次、屏幕显示过氧化氢量不足1次、真空Ⅰ期及真空Ⅱ期超时各4次、真空Ⅲ期超时及生物监测不合格各3次。结论多种因素均能影响过氧化氢低温等离子体灭菌的成功率，重视细节和环节质量