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以正硅酸乙酯和钛酸丁酯为原料，用溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2复合膜。采用TG—DTG、FF-IR和AFM等测试技术对膜的热稳定性、凝胶膜热处理前后的结构变化和复合膜的表面微观形貌进行表征。实验结果表明：分级千燥或者保持65％相对湿度的直接干燥可以得到无裂纹的凝胶膜；复合膜的热稳定较好，600℃以后没有明显的质量损失；焙烧过程中，不同升温区间采用不同的升温速率，以防止膜开裂；复合膜在制备过程中形成了Si-O-Ti键，经烧结后Si-O-Ti键位置没有发生明显位移；原子力显微镜分析表明，膜表面完整无缺陷，