磨角法测pnn~+结构中n~+层的结深

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:SHANGTIEYING
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在用磨角测量时,为避免粘片等引起的角度的误差,一般采用比例法为好(它的测量误差与角度的误差无关)。磨角显示后见图1,结深为:x_i=(a/(2a+b))·L 式中L是片厚,a、b分别为n~+层与n层的厚度。 In the measurement with the grinding angle, in order to avoid the error caused by the sticky sheet angle, the proportion method is generally good (its measurement error and angular error has nothing to do). After the grinding angle is shown in Fig. 1, the junction depth is: x_i = (a / (2a + b)) · L where L is the sheet thickness and a and b are the thickness of n ~ + and n layers, respectively.
其他文献
建立健全农业社会化服务体系是自实行“联产承包制”以来深化农村改革 ,促进农村生产力发展的重要举措之一。本文拟通过阐述建立健全农业社会化服务体系的重要性及其意义 ,进
CMOS电路中存在着pnpn寄生可控硅结构,见图1(a),它比实际可控硅的结构多两个分流电阻Rn和R_p,见图1(b)、(c).若寄生npn和pnp晶体管的电流增益分别为β_(npn)和β_(pnp),这时
分析二次函数图象之后,得到零点的概念,从而进一步探索函数零点存在性的判定。基于研究和分析函数与方程,更好的对函数进行认知,通过对函数与方程的探究,对函数有进一步的认
本文对多元逻辑电路的主要基本单元线性“与或”门进行了进一步的分析和研究。提出了一种JFET偏置结构,推导了平均传播延迟的分析表达式,建立了晶体管增益与电路参数的关系方
概述 SGI的Origin2000服务器是根据客户的具体应用和问题规模而设计的。这是采用CC-NUMA(高速缓存一致性非均衡存储器访问)体系结构实现的。该体系结构把多个处理器互连在一
观察改良式羟基磷灰石义眼座植入的临床效果。方法 :眼内容剜除后 ,后极巩膜开窗直径 10mm~ 15mm ,剪断视神经 ,取出后极巩膜及视神经残端 ,一期植入羟基磷灰石义眼座入肌锥内
本文着重介绍了CCD信号处理组件的三种基本结构:SI/SO,PI/SO和SI/PO。分别叙述了它们的结构形式,功能和应用潜力,并作了相应的评述。 This article focuses on the three ba
对于癌症晚期的患者来说,是否该知据美国“今日医学新闻”网站报道,英国首相卡梅伦委托的一项最新研究显示,如果找不到耐药菌感染的对策,到2050年,每年会因此多出1千万的死亡
树木学上记载,杨树雌雄异株.但在我场种籽园内,发现有两株杨树已由雌雄异株转化为雌雄同株.一株是欧洲黑杨,去年(1981)由杨庭兰同志发现的;一株是小美8273杨,今春我们在搞杂
环球网讯据美国食品和药物管理局官网声明,该局实验室分析认为,中国药物“中华牛鞭”含有隐藏成分,该机构呼吁美国消费者不要购买或使用该药物。据报道,该网站称,实验室研究