【摘 要】
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为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学技术大学
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)
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为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系.通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因.根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数.最后给出了部分微器件的成型结果.
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