【摘 要】
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介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题；二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术，无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直
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介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题；二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术，无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代表了目前超精密测量技术和仪器工程研究的发展趋势，优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键。
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