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利用铝合金支（LY13）^*在氩气和空气气氛中进行直流反应溅射，可以得到渐变型或干涉型太阳光谱选择性吸收涂层。当氩气与空气之比大于0.14-0.16时得到由AlxOy和AlNx组成的纯介质膜（AlxOy-AlNx)其折射率（n)和消光系数（k)分别为1．65－1．88和0．002－0．005。将AlxOy-AlNx膜和纯AlN膜作为减反射膜分别沉积在具有相同吸收层的样品上，在真空压强4．5×10^-3Pa,400℃下烘烤30min,AlxOy-AlNx比AlN更稳定。在高硼硅玻璃和抛光不锈钢上，