【摘 要】
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蚀刻:有选择地去除材料的某些部分来形成芯片上各层的电路图案。离子:产生静电荷的原子或分子。在半导体制造中,离子是改变硅的导电性能的化学杂质的来源。
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蚀刻:有选择地去除材料的某些部分来形成芯片上各层的电路图案。离子:产生静电荷的原子或分子。在半导体制造中,离子是改变硅的导电性能的化学杂质的来源。
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