【摘 要】
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作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和熔点测试采样方法,并采用这两种方法丰富了采样数据。通过线性计算估算了1000~1500℃范围内的校温数据;基于曲线拟合进行了数据采样,得到了更加准确的校温结果。通过比较,分析了两种校温方法各自的优缺点。结果表明,线性计算校温法更适用于1100℃以下的校温;曲线拟合校温法更适用于1100℃以
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