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低压扫描电子显微术成像试验胡建军（首都钢铁公司钢铁研究所，北京１０００４１）低压扫描电子显微术通常是指扫描电子束的加速电压在０．５－５．０ｋＶ之间。它的主要优点包括：电子在试样中的穿透深度和作用区较小；降低辐照损伤和非导体的电荷积累；提高二次电子产率...
低压扫描电子显微术成像试验
【摘 要】
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低压扫描电子显微术成像试验胡建军（首都钢铁公司钢铁研究所，北京１０００４１）低压扫描电子显微术通常是指扫描电子束的加速电压在０．５－５．０ｋＶ之间。它的主要优点包括：电子在试样中的穿透深度和作用区较
【机 构】
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首都钢铁公司钢铁研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1996年6期
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