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随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.
利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器
【摘 要】
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随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.
【机 构】
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清华大学微电子研究所
【出 处】
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世界电子元器件
【发表日期】
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2001年5期
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