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采用近距离升华（Colse—Spaced—Sublimation，CSS）技术制备纯CdTe薄膜．然后通过离子注入的方法对纯CdTe薄膜进行Sb（锑）掺杂及热处理，并利用XRD、SEM、紫外可见分光光度计及Hall测试系统研究其结构，表面形貌和光电性能．结果表明，通过离子注入的方法在CdTe薄膜上掺杂Sb离子可以改善CdTe薄膜的结晶性能、并且明显提高了其电导特性，掺杂对CdTe薄膜的光能隙影响不大．