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在太阳能电池片(硅片)的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。
PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施
【摘 要】
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在太阳能电池片(硅片)的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2020年3期
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