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本文利用CF4气体,对YBCO薄膜表面进行可控的rf等离子体氟化处理,AFM与XPS的分析结果表明:适当的氟化所起的作用主要为化学反应作用。氟化可造成Y(3d)与O(1s)诸元素的本征峰相对强度减少,甚至消失;对Ba(3d),Ba(4d)和其它元素也有影响。本文的研究为利用等离子体氟化YBCO膜形成弱化势垒层提供了初步结果。