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我国唯一能对半日导体器件实现无损检测的仪器——光调制反射显微镜，由南京大学信息物理系专家研制成功，目前，我国半导体器件检测，是将半导体集成电路板上的所有元件折下来，把扳上铝箔之类的焊接材料溶解，这样，检测后的电路板就被损坏了。现在用光调制反射显微镜，
半导体无损检测仪器
【摘 要】
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我国唯一能对半日导体器件实现无损检测的仪器——光调制反射显微镜，由南京大学信息物理系专家研制成功，目前，我国半导体器件检测，是将半导体集成电路板上的所有元件折下来，把扳上
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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1993年1期
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