【摘 要】
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目前批量原子层沉积反应器存在气体扩散不均、腔室利用率低、反应副产物残余等缺点，影响了沉积薄膜的质量，降低了生产效率。针对以上问题，利用Fluent软件建立起批量原子层沉积反应器的仿真模型，首先分析了反应器添加不同结构尺寸的匀气挡板对气体速度、浓度以及扩散时间的影响；其次分析了片架间的距离对气体速度的影响；并将Al2O3薄膜的均匀性实验结果与仿真模拟结果进行对比，验证了仿真模型的准确性与可靠性，为批
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目前批量原子层沉积反应器存在气体扩散不均、腔室利用率低、反应副产物残余等缺点，影响了沉积薄膜的质量，降低了生产效率。针对以上问题，利用Fluent软件建立起批量原子层沉积反应器的仿真模型，首先分析了反应器添加不同结构尺寸的匀气挡板对气体速度、浓度以及扩散时间的影响；其次分析了片架间的距离对气体速度的影响；并将Al2O3薄膜的均匀性实验结果与仿真模拟结果进行对比，验证了仿真模型的准确性与可靠性，为批量原子层沉积反应器的改进与优化设计提供了参考。
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