【摘 要】
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为控制石英玻璃与 HF 酸的反应，实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻和对石英玻璃工艺品的精确加工，探讨了化学反应机理和腐蚀的动力学过程。重点探究了影响整个蚀刻过程的重要因素
【机 构】
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北京市工业技师学院,中国寰球工程公司
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为控制石英玻璃与 HF 酸的反应，实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻和对石英玻璃工艺品的精确加工，探讨了化学反应机理和腐蚀的动力学过程。重点探究了影响整个蚀刻过程的重要因素，HF 酸溶液的浓度 c、反应的温度 T 和反应的时间 t 与蚀刻深度之间的关系。结合 power law 幂率模型的原理，建立了适用于石英玻璃浅层蚀刻的数学模型。验证时，选取了10，20℃等温度下，4种不同浓度的 HF 酸体系，通过模拟曲线和实验数据的对比，得知误差基本维持在5%以内。因此，该模型可以对玻璃的浅层蚀刻进行比较准确的模拟。
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