切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
半导体超薄层微结构的外延生长技术
半导体超薄层微结构的外延生长技术
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuyan
【摘 要】
:
半导体超薄层外延是超晶格与量子阱研究的技术基础。化学束外延、原子层外延、迁移增强外延、选择区域外延、激光辅助外延和低温Si外延等是在分子束外延和金属有机化学气相沉积
【作 者】
:
彭英木
傅广生
【机 构】
:
河北大学电子与信息工程系,河北大学物理系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
超晶格微结构
超薄层
外延
生长机理
半导体
Superlattice microstructure
Ultrathin epitaxy
Growth mech
【基金项目】
:
河北省自然科学基金
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
半导体超薄层外延是超晶格与量子阱研究的技术基础。化学束外延、原子层外延、迁移增强外延、选择区域外延、激光辅助外延和低温Si外延等是在分子束外延和金属有机化学气相沉积基础上发展起来的几种新型超薄外延技术。本文着重介绍了这些外延工艺的生长机理及其研究进展。
其他文献
管道支吊架间距计算标准比较分析
为了在管道设计中合理选择支吊架间距,达到高质量、低造价的目的,本文比较分析了不同标准对管道支吊架间距计算中强度条件的弯曲应力、刚度条件的弯曲挠度及固有频率等要求,
期刊
支吊架间距
强度条件
刚度条件
固有频率
振动
弯曲应力
弯曲挠度
管道设计
山东常林“绿旋风”登陆连云港农场
5月31日,山东常林高端农机具演示会在连云港农场举行。当天,该农场头批150亩麦子刚刚收割完毕,山东常林生产的秸秆还田旋耕机等机具就派上了大用场。在常林“绿旋风”围着麦田作
期刊
连云港
农场
山东
秸秆还田
农机具
旋耕机
演示会
作业
科利亚新型甘蔗收获机即将投产
广州科利亚公司设计的4GZ-91型切段式甘蔗联合收割机近日通过专家鉴定,即将投产。科利亚组织专家对切段式甘蔗联合收割机整机进行理论分析和优化设计,用八年时间研制出适合我国
期刊
甘蔗种植
投产
收获机
联合收割机
专家鉴定
优化设计
输出功率
公司
阳光控制膜玻璃的光学特性及膜系设计
通过对阳光控制膜玻璃膜层结构的分析,指出三层膜各自所起的作用具有很明显的相对独立性,因而在进行膜层材料选择及工艺参数确定时,可分别独立地加以处理。对几种常用金属薄膜和
期刊
玻璃
幕墙玻璃
阳光控制膜
膜系组成
光学特性
Curtain wall glass
Solar control film
Layer structure
借鉴BTEC教学经验探索高校专业课双语教学模式——以经管类课程为例
在高校专业课程中开展双语教学是我国高校走向国际化的一条重要途径。本文结合笔者的教学实践,通过对BTEC课程教学和传统专业课程双语教学的比较分析,分析传统的专业课双语教学
期刊
BTEC
高校
专业课
双语教学
模式
浸入式
近十年来南四湖水质时空变化特征研究
基于南四湖湖区2006~2016年的水质监测数据,选取CODcr、TP、TN、和NH3-N作为水质评价指标,对南四湖各湖区的污染情况及年际变化趋势进行对比分析,并利用综合水质标识指数法,对
期刊
南四湖
时空特征
水质评价
综合水质标识指数
薄膜形成的一种新理论
目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子
期刊
薄膜物理学
沉积
成核
生长
政府将向服务组织购买农业公益性服务
日前,农业部发出通知,决定开展政府向经营性服务组织购买农业公益性服务机制创新试点,在粮食、棉花、畜牧、水产等主产区以及工作基础条件较好的辽宁、吉林、江苏、浙江、安徽、
期刊
公益性服务
服务组织
农业部
政府
创新试点
服务机制
经营性
主产区
角色定位视角下高校辅导员职业倦怠分析
角色定位模糊是高校辅导员职业倦怠的产生根源。在归纳高校辅导员职业倦怠的现实表现基础上。以角色定位的维度剖析了辅导员职业倦怠的原因,提出了专业化、职业化是缓解辅导员
期刊
高校辅导员
角色定位
职业倦怠
对向靶溅射制备NiCr—NiSi薄膜热电偶的动态特性研究
用对向靶溅射制备了NiCr-NiSi薄膜热电偶,实现了薄膜民分与靶材基本一致。对热电偶进行动态特性测试表明,薄膜热电偶的时间常数τ随膜厚变薄而减小,并对此进行讨论。
期刊
对向靶溅射
薄膜热电偶
时间常数
Facing targets sputtering
Thin film thermocouple
Time-constant
与本文相关的学术论文