【摘 要】
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介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材
【机 构】
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北京工业大学环境与能源学院强化传热与过程节能教育部重点试验室,
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介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。
The design and process improvement of micro electrohydraulic pump are introduced. Electrohydraulic micropump production process improvements include: material selection, microelectrode optimization design and packaging process improvements. Using PDMS as the material for constructing the microchannels, the PDMS microchannels were fabricated by the pouring method and the micro-pump was encapsulated by anodic bonding. The experimental results show that the maximum flow rate of the electro-hydraulic micropump driving fluid can reach 92 uL / min when the driving voltage is 90 V.
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