【摘 要】
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以五氯化铌为原料,采用氨气还原氮化法制备出Nb4N5薄膜.利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN测试手段研究了薄膜组成、形貌和表面增强拉曼光谱性能.结果 表明,薄膜中Nb4N5的结晶
【机 构】
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华北理工大学材料科学与工程学院,唐山063210华北理工大学药学院,唐山063210;华北理工大学分析测试中心,唐山063210;
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以五氯化铌为原料,采用氨气还原氮化法制备出Nb4N5薄膜.利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN测试手段研究了薄膜组成、形貌和表面增强拉曼光谱性能.结果 表明,薄膜中Nb4N5的结晶程度高,物相较纯没有出现其他的杂质,薄膜表面裂纹较少,颗粒粒径40 nm,膜厚210 nm,所合成的Nb4N5薄膜吸收光谱中在300～500 nm出现了等离子体共振吸收峰,红外区域反射率高于30％,薄膜方块电阻为552 Q/口,并具有较好的SERS活性.
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