【摘 要】
：
为深入理解挖掘ArF准分子激光系统运转机制,进而获得ArF准分子激光系统设计优化的理论及方向性指导,文章基于流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要研究
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所,北京市准分子激光工程技术中心,中国科学院大学,应用光学国家重点实验室
【基金项目】
：
国家科技重大专项(批准号:2013ZX02202),应用光学国家重点实验室开放基金(批准号:SKLAO-201915)资助的课题.
论文部分内容阅读
为深入理解挖掘ArF准分子激光系统运转机制,进而获得ArF准分子激光系统设计优化的理论及方向性指导,文章基于流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要研究对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,分析了不同缓冲气体中,ArF准分子激光系统极板间电压、电流、光子数密度变化趋势及电子数密度空间分布情况,讨论了光电离在系统放电过程中的重要作用.结果表明,Ne作为缓冲气体时,电子耗尽层及阴极鞘层宽度更小,放电更加稳定.在Ne中添加杂质气体Xe,可以通过光电离加速放电区域的扩展,减小电子耗
其他文献
高利率民间借贷问题对当前中国农村经济社会的发展具有重要影响。正确认识当前中国农村中存在的高利率民间借贷,对于正确处理民间借贷,发展中国农村金融,进而发展农村经济,建
第一部分不同日龄新生小鼠视网膜血管对氧疗的敏感性目的：给不同日龄新生小鼠吸氧，观察日龄对氧疗的敏感性，研究视网膜血管的发育程度与新生血管形成的关系。方法：选择4、7、9、1
流固耦合管路系统广泛应用于各种装备中,通常用来传递物质和能量或者动量.由于流固耦合效应,管壁在流体作用下易产生强烈的振动与噪声,对装备安全性、隐蔽性产生严重影响,甚
水下光学成像是探索水下奥秘的关键技术,但是环境中介质吸收和背向散射效应会造成图像严重退化.基于差分偏振的复原技术是水下图像复原技术的主要方法之一,通过正交偏振图之间的共模抑制实现背景散射光的抑制,但是相关研究表明该方法对于非均匀光场等情况的恢复效果一般,其原因主要在于非均匀光场条件下偏振度和强度的估计误差.针对上述问题,本文提出融合偏振信息的多孔径水下成像技术,该方法利用相机阵列实现虚拟大孔径成像
采用动态合成分析法对近海突然加强（RITC）和突然减弱（RWTC）两类热带气旋（TC）的环境场进行对比分析。研究表明：（1）两类TC形势场差异较明显，且影响RITC的南亚高压比影响RWTC的南亚高压强
目的通过对反复呼吸道感染(RRTI)患儿在不同年龄和有无喘息分组进行免疫功能、体外变态反应与肺功能的监测,为临床合理治疗RRTI提供基础资料。方法选择543例RRTI患儿,按照年
铁磁/非磁异质结构中的超快自旋流-电荷流转换实现相干太赫兹辐射得到了广泛研究.热自旋电子学结合了热输运与磁输运,可以有效地产生和探测自旋的非平衡输运.本文利用飞秒激
磁准直是塑造天体外流形貌的重要机制,它的有效性已经在激光等离子体实验中被无量纲验证.本文在现有磁准直射流研究框架的基础上,综合实验与模拟,通过改变激光等离子体烧蚀靶
在分析研究太平洋海气耦合经向模（Pacific Meridional Mode——PMM）和西北太平洋生成热带气旋频数变化关系的基础上，利用NCAR的大气环流模式CAM3模拟研究了太平洋海气耦合经向模
交流旋转滑动弧放电能够在大气压下产生大面积、高活性的非平衡等离子体.为了研究交流旋转滑动弧的滑动放电模式、放电特性及光谱特性,本文采用高速相机与示波器同步采集旋转