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采用溶胶-凝胶（Sol—Gel）旋涂法在Si（100）和熔石英衬底上制备ZnO薄膜，利用x射线衍射（xRD）、光致发光谱（PL）等手段分析得到ZnO薄膜的晶体结构和发光特性．结果表明，在Si（100）衬底上制备的ZnO薄膜呈现沿各个晶面自由生长的特性，而熔石英衬底上制备的样品呈现沿c轴择优取向生长的特性．