论文部分内容阅读
微电子学和光电子学的迅速发展,要求能对掺入半导体晶片中的杂质数量、深度和浓度分布进行精密控制,因此原子平面掺杂和超浅层掺杂技术已成为发展新器件的重要工艺之一。本文介绍了当前三种主要的浅层或薄层平面掺杂技术的特点,并简要论述了它们在光电子器件和集成电路中的应用。
精密掺杂技术的发展与应用
【摘 要】
：
微电子学和光电子学的迅速发展,要求能对掺入半导体晶片中的杂质数量、深度和浓度分布进行精密控制,因此原子平面掺杂和超浅层掺杂技术已成为发展新器件的重要工艺之一。本文
【机 构】
：
河北大学电子系河北保定071002
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
1993年1期
其他文献
本文介绍一种采用Ｒ－２Ｒ梯形电阻网络和ＣＭＯＳ模拟开关的典型结构的单片１０位Ｄ／Ａ转换器。在设计和制作上进行优化，不用激光修调能够达到１０位精度，在全温范围内有较高的温度跟踪特性。
摘要:随着我国改革开放和社会主义市场经济更加深入发展, 新世纪的中国旅游业开始从新的经济增长点迈向新的支柱产业, 从世界旅游大国迈向世界旅游强国。本文主要从我国旅游市场营销的含义、特点、问题及对策几个方面进行了分析。 关键词:旅游 旅游营销 营销策略 中图分类号:F713.5文献标识码:A文章编号:1006-8937(2009)03-0142-01 1 旅游市场营销的含义 传统旅游
本文介绍了动态分频器的基本原理；详细叙述了动态分频器电路及其主要工艺技术；综述了国外动态分频器的发展动态。
文章根据委托代理理论和分权制衡理论建立理论模型来研究我国上市公司监事会治理水平与公司绩效的关系。回归结果显示监事会治理水平对公司绩效没有显著的影响，这从一定程度上
如何提高材料的强度而不损失其塑性？这是众多材料科学家面临的一个重大挑战。近日，中科院金属所沈阳材料科学国家（联合）实验室研究员卢柯、卢磊与美国麻省理工学院教授S．Suresh合
交流异步电动机的传统起动、停止方式存在着许多缺点，不能适应不断发展的电动机复杂使用场合的控制需要，目前在供排水系统中，有较多中、大功率电机在传统方式下启动运行。文章提
介绍了一种带接口的单片ＣＭＯＳ１０位电流型乘法Ｄ／Ａ转换器的设计及工作方式。着重阐述逻辑电平转换、控制逻辑的结构设计及其工作方式。在不修调电阻网络的情况下，该Ｄ／Ａ转换器在５Ｖ、１５Ｖ下，其线性误差
文章对一起GIS故障设备拆卸、吊装、更换故障部件、试验方案等检修过程进行分析。根据二次保护动作原理，初步判断故障点可能出现的地方，再运用试验方法确定故障间隔，快速将无故
本文报告以实验的方法，经过一年的工艺跟踪试验，对某型号在线运行十年的中能离子注入机的运行质量进行检测研究。用四探针法研究了中剂量（１×１０￣（１４）ｃｍ－２）注入样品的薄层电阻，发现最大偏差