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微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了它们的应用和相应的特点.
微细加工技术在微光开关制造中的应用
【摘 要】
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微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,东南大学机械工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年1期
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