【摘 要】
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Position sensitive detector is very important for nuclear physics experiment. There several techniques can be used to fabricate position sensitive detector, for
【出 处】
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IMP & HIRFL Annual Report
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Position sensitive detector is very important for nuclear physics experiment. There several techniques can be used to fabricate position sensitive detector, for example, Si-surface barrier method, diffusion method, ion implantation and planar process etc. Among all the techniques mentioned above planar process is the best one. We have developed batch of position sensitive detector - silicon multi-strip detector by using planar process.1. Method of fabrication
There are several techniques that can be used to fabricate position sensitive detectors, for example, Si-surface barrier methods, diffusion methods, ion implantation and planar processes etc. Among all the techniques mentioned above planar processes is the best one. We have developed batch of position sensitive detector - silicon multi-strip detector by using planar process.1. Method of fabrication
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