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期刊论文
新兴的波前工程学
新兴的波前工程学
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zh_engxu
【摘 要】
:
基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术,应用于光学掩模设计,可制作逼近监界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片,波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命,其前景
【作 者】
:
杨国桢
顾本源
【机 构】
:
中国科学院物理研究所
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
光学掩模
光刻蚀术
波前工程
集成电路
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基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术,应用于光学掩模设计,可制作逼近监界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片,波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命,其前景十分引人瞩目。
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