论文部分内容阅读
新开发类金刚石(DLC)砂轮所用的DLC纤维是涂敷DLC膜的铝板经压延机单向压延而成的,DLC膜断裂成纤维状,而且纤维的方向保持一致,经几层叠合,由结合剂固结并烧结制成DLC纤维砂瓦,用其制作出杯形砂轮。然后,利用这种砂轮进行硅片、石英、SKD-11淬硬钢的磨削。硅片的磨削结果表明,加工表面粗糙度可达Ry=15nm(Ra=2nm)。