电容式微加速度计零偏的补偿方法

来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:freeboy033
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在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下,取得了1.23%的相对精度,表明这种方法是可行性。
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