【摘 要】
：
本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计。在加工工艺上,采用双空
【机 构】
：
中北大学电子测试技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计。在加工工艺上,采用双空气桥技术和Au/Ge/Ni合金膜系欧姆接触技术有效降低了电容、电阻等对器件结构性能的影响;在传感器的具体加工过程中,共振隧穿结构（RTS）和拍子结构是通过控制孔技术一次流片完成的。对所加工的传感器进行了初步测试,结果表明,传感器频响能较好的与仿真结果相吻合,1.3KHz时同时具有较好的线性特性。
其他文献
背景:单纯采用骨形成细胞评价钛种植体材料的生物学性能已不能满足获得早期和长期稳定的骨结合的要求。为实现上述目标,必须深入理解种植体与机体界面相互作用,同时考量包括
招生难、就业难的压力督促医学高校提升医学专业竞争力，结合各个高校的具体办学条件、学科基础、学校理念和所处地域环境等因素对学校进行科学合理定位，有助于服务国家或地方经
本人结合多年施工经验,阐述了小型水利工程施工过程中基坑开挖前初期排水和施工过程中经常性排水的主要方法。
研究氯化聚乙烯橡胶（CM）/废旧三元乙丙橡胶（EPDM）胶粉共混发泡材料的性能,并采用活化剂420等对废旧EPDM胶粉进行活化改性,考察废旧EPDM胶粉改性对共混发泡材料的影响。结果表明：随
介绍了GPS—RTK联合全站仪的工作原理与方法,以内蒙古赤峰市为例,依据GPS—RTK、全站仪等仪器设备,结合已有的控制资料和地形图资料,选用差分后处理测量模式在内蒙古赤峰市市区实施了1:500数字测图,将测图成果与现有地形图数据进行了比较,系统分析了数据偏差原因。本文的研究表明,本文所选用的仪器设备和作业模式获取的测图成果,能够满足1:500数字测图需要。GPS应用于数字测图是完全可行的,利用G
研究阻坝扩张式复合机头的结构参数包括扩张比、扩张角、阻坝间隙、定型流道段长度、收敛角和过渡流道段长度对短纤维补强橡胶复合材料性能的影响。结果表明：当扩张比为5、扩
【正】随着市场经济的进一步发展,商品日益丰富。消费者(用户)通过市场(国内、国际)经过货比三家,来选购自己需要的相对价廉物美的产品。生产企业为了使产品在市场上能卖出去
应用中频反应磁控溅射设备制备了Al2O3：Ce^3＋的非晶薄膜。在溅射时靶电压随氧气分压比的增加而减小，而当氧分压比增大时靶电压沿另一条路径变化，即呈现迟滞回线现象。通过控制氧
浙江富阳地处杭嘉湖平原，自70年代后期推广双季稻三熟制以来，“小麦一移栽稻一移栽稻”一直是粮食生产的主要种植方式。近年来，随着社会经济的快速发展，粮食生产已从一家一户承包