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对国内首次研制成功的ArF准分子激光器实现了窄线宽可调谐运转，提出并利用光栅掠入射腔实现了线宽小于 0．020 nm的窄线宽和连续调谐运转，注入到放大级实现了脉冲能量大于40 mJ的窄线宽可调谐激光输出。设计利用氧气吸收光谱对处于真空紫外的ArF激光实现了波长标定和线宽的准确测量。
光栅掠入射腔对ArF激光线宽的压缩和调谐
【摘 要】
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对国内首次研制成功的ArF准分子激光器实现了窄线宽可调谐运转，提出并利用光栅掠入射腔实现了线宽小于 0．020 nm的窄线宽和连续调谐运转，注入到放大级实现了脉冲能量大于40 mJ的
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2001年5期
【基金项目】
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国家重点实验室基金
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