铀铌合金真空热氧化膜的俄歇电子能谱研究

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用俄歇电子能谱(AES)研究了高真空下,环境温度对铀铌合金真空氧化膜的影响.当温度高于603 K时,氧化膜表面结构发生明显改变,表面主要由铀碳化合物、金属态的U和Nb组成.利用Ar+溅射铀铌合金真空热氧化膜进行深度分布分析,发现在热氧化膜的表面氧含量很小,而在热氧化膜的内部有氧增多的现象.
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