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在原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)基础上发展起来的扫描探针显微术(Scanning probe microscope,SPM)已成为推动当今纳米科学发展的最重要技术,综述了在商用AFM平台上所发展的超高分辨压电响应力显微术(PFM)、低频高分辨扫描探针声学显微术(SPAM)、三倍频双探针扫描热学显微术(3ω-STh M)等先进扫描探针显微术的工作原理及其应用研究,显示了该先进扫描探针显微术在纳米结构及其与外场互作用的机电、弹性、热学、热电等综合物理特性原位表征的重要潜力。